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  • DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能測(cè)量系統(tǒng)

    54-DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能測(cè)量系統(tǒng).jpg

    概述

    隨著能量效率的提高,以及排氣通風(fēng)設(shè)施的物理限制變得更加明顯,半導(dǎo)體設(shè)備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來越重要。設(shè)備的排氣通風(fēng)設(shè)計(jì)不合理,可能會(huì)造成操作人員的傷亡,引起設(shè)備乃至整個(gè)工廠的燒毀。

    半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量機(jī)臺(tái)通風(fēng)效率,滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

    SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測(cè)定逸散性排放的試驗(yàn)方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導(dǎo)體裝備通風(fēng)效率。

    SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,對(duì)SF6檢測(cè)儀的檢測(cè)精度要求極高。


    特性


    • 光聲光譜法原理,懸臂梁專利探測(cè)技術(shù)

    • 可同時(shí)測(cè)量SF6等多種示蹤氣體及VOC

    • 檢測(cè)限低,測(cè)量精度高(ppb)

    • 測(cè)量響應(yīng)快

    • 多點(diǎn)采樣器,可擴(kuò)展12-64個(gè)采樣點(diǎn)

    • 無需預(yù)處理、無耗材、無載氣

    • 可定制釋放裝置和管路


    應(yīng)用

    • 半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能檢測(cè)(國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)SEMI S6標(biāo)準(zhǔn))

    • SF6泄露檢測(cè)




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